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    歐姆龍技術

    MEMS流量傳感器

    產品特點 能大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
    技術特點 應用氣體流量測試技術檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
       

    能大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器

    作為減輕環境負擔的新一代燃料電池系統零部件,MEMS流量傳感器發揮著重要的作用。 燃料電池的原理就是將城市燃氣中含有的氫氣與氧氣混合在一起,產生化學反應進行發電。為了盡量提高發電效率,需要使氫氣與氧氣在合適的混合比率的情況下進行燃燒。為了達到這一目的,需要發揮MEMS流量傳感器的高精度測試技術。

    歐姆龍采用獨創的超細微加工技術,開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度,甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。隨著燃料電池的普及,對歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。


    技術特長氣體流量檢測技術

    應用氣體流量檢測技術,檢測僅為1毫米/秒的氣體流量

    為了檢測微量的流速,就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發揮歐姆龍獨創的高精度加工技術,創造出小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米,厚0.4毫米)的芯片。 其測試原理如圖所示,在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心,溫度分布左右對稱;如有氣體流動,加熱器排出的風的上方就會變冷,風的下方就會變熱,從而導致溫度失衡。此溫度差作為兩個熱電偶的電動勢差,可用于檢測流速及流量。

    另外,通過應用歐姆龍獨創的蝕刻技術等,即使是這種超精細的MEMS,也能高精度地實現質量穩定的大批量生產。憑借這種高度的MEMS生產性,歐姆龍大幅度降低了產品成本,從而不僅在燃料電池方面,還可廣泛應用于檢測精密設備的空冷狀態等各種領域。

    京ICP備16038189號-1   

    滬公網安備 31011502002231號

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